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真空PVD镀膜基本步骤

来源:鼎新机械 2019-08-19
前处理工艺
褪膜、喷砂、抛光、钝化、清洗、装夹
 
镀膜工艺
抽真空、加热烘烤、漏率测试、轰击清洗、镀膜、冷却出炉
 
后处理工艺
 
清洗:确保镀膜前产品表面的清洁,越新鲜的表面,越能保证镀膜质量;
抽真空:将真空室内的残余气体抽走
加热烘烤:炉体和工件同时加热,加速残余气体的释放
压升率测试:测试炉体的漏气率和放气率
轰击清洗:去除工件表面的杂志,露出新鲜表面
镀膜:沉积膜层
冷却:避免工件氧化变色
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